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众合科技(000925)
产品与服务
半导体领域

众合科技参股企业——新阳硅密(上海)半导体有限公司(以下简称“新阳硅密半导体”),由上海新阳半导体材料有限公司与硅密四新半导体技术(上海)有限公司于2016年4月重组成立。公司注册资金7800万元,拥有3000平米厂房面积,具备1000平米万级洁净车间及业内领先的半导体电镀工艺专业级实验室,并创建了行业领先的半导体晶圆级湿制程电镀装备及半导体湿法装备与化学药液一体化工艺服务平台。

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公司专注于半导体湿法制程电镀设备及相关湿法装备的研发、生产、销售及服务,主要产品有InnovaSYS单晶圆电镀设备、CleanSYS批次式清洗刻蚀设备等。



服务案例:

²  北京有研,整条清洗建线

²  上海新傲,清洗工艺升级改造

²  南京国盛,清洗工艺升级改造

²  浙江金瑞泓,清洗工艺升级改造

²  洛阳麦斯克,清洗工艺升级改造

²  46所,清洗工艺升级改造

²  TI CFAB DNS 820.C安装及设备模组改造

²  TI CFAB DNS 820.L安装及设备模组改造

²  TI CFAB SCP 9400 安装及改造

²  TI CFAB(43套)自动CO2检测/灭火系统设计与改造

²  BCD 12湿法设备安装及改造,包括KAIJO,DNS,SEMITOOL

²  GSMC Akrion/SCP 9400 Pre-Clean湿法设备安装/改造

²  GSMC Akrion/SCP 9400有机溶剂湿法设备安装/改造

²  BCD纯水加热系统安装改造

²  TSMC(9套)Kaijo及DNS自动CO2检测/灭火系统设计与改造

²  SIMBCD 5”升级为6”的整条线湿法设备项目

²  IMECAS 5”升级为6”的整条线湿法设备项目

²  华润晶芯6”26台湿法设备工艺交付

²  上海贝岭6”整条线湿法设备项目

²  SMIC成都(TI)8”线移机项目

²  Tech Semiconductor移机项目

²  TSMC从Atmel(England)移机的湿法设备移机项目

²  台积电DNS湿法设备SOM改SPM设备模组改造

²  SK Hynix WuXi(4套)自动CO2检测/灭火系统设计与改造

²  中芯FAB1全部E200湿法设备安装及工艺调试

²  CSMC KAIJO有机溶剂湿法设备兆声波机加热器改造

²  SKY SILICON DNS 820.C设备模组改造

²  SMIC 7台12寸JET BW3000 PRStrip移机及工艺调试项目

²  士兰3台12寸JET BW3000 PR Strip翻新机项目

²  GSMC SEMITOOL有机溶剂湿法设备安装/自动CO2灭火系统